所有高純度和高度清潔的氣體都需要通過管道輸送到POU。為了滿足工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標確定的情況下，應更加重視管道系統(tǒng)的材料選擇和施工質(zhì)量。除了取決于氣體生產(chǎn)或凈化設備的精度之外，它還受到管道系統(tǒng)中許多因素的極大影響。因此，管材的選擇應嚴格遵守相關行業(yè)原則，并在圖紙中注明管材。

管道材料根據(jù)使用要求選擇。如果是該工藝的反應氣體，則選擇經(jīng)過電拋光處理、耐腐蝕和低表面粗糙度的316厘泊高等級管道。rmax(maximumpeaktovalleyh8)約為0.3μm或更小，遠低于經(jīng)過光亮退火處理的316LBA管的0.8μm。平面度越高，形成微渦流的可能性就越小，從而帶出被污染的顆粒。316LBA管通常用于與芯片接觸但不參與工藝反應的氣體，如GN2和CDA。管道內(nèi)表面的粗糙度是測量管道質(zhì)量的標準。粗糙度越低，該粒子的攜帶可能性越大。

另一個未經(jīng)過特殊處理的AP管(退火和揀選)用于未用作供氣管道的兩組外管。目前，我國清潔管道的參考標準相對較少。一般來說，除了參考行業(yè)相關技術規(guī)范如“潔凈車間設計規(guī)范”、“氫站設計規(guī)范”、“氫氧站設計規(guī)范”和“壓縮空氣設計規(guī)范”外，我們行業(yè)中常用的材料選擇和管道一般參考國際公認的行業(yè)標準:

在半導體工業(yè)中，線寬越來越小，對氣體純度、粒度、雜質(zhì)含量和露點的要求越來越高。

高純氮(PN2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氮氣(N2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥門或球閥。

高純氫(PH2)氫(H2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。氬氣(Ar):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管道，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氦(He):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥門或隔膜閥。

特殊氣體系統(tǒng):如有必要，需要雙套管:外管酸洗鈍化處理和內(nèi)管電解拋光。閥門采用波紋管閥或相同材料的隔膜閥。壓縮空氣(CDA):系統(tǒng)管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材料的球閥(銅管也可用于要求較低的公司，具體取決于工藝要求)

對于特殊氣體，有許多種氣體和許多有毒有害氣體。原來有一臺機器裝有氣柜。設備組合和維護成本高，大大增加了投資成本，部分設備也布置在工藝室內(nèi)，存在泄漏的安全隱患。目前，集中供氣系統(tǒng)被廣泛使用。氣柜集中，自動控制系統(tǒng)不斷完善。其報警、噴淋、切換和吹掃更加成熟。專用氣體室也與工藝室隔離，并有防爆要求。工作的安全性大大提高了。

對于腐蝕性、毒性和可燃性氣體，通常設計為將鋼瓶放置在氣柜中，然后通過管道將氣體供應到現(xiàn)場附近的閥箱(VMB，ValveManifoldBox)，然后進入加工機的POU (POU，PointofUse)。在進入機器腔體之前，將有一個獨立的氣體控制面板(GB，GasBox)連接到過程控制模塊，質(zhì)量流量控制器(MFC)用于控制進氣的流量和混合比。通常，這種氣體控制面板不屬于工廠系統(tǒng)的設計范圍，而是屬于加工機械設備的一部分。普通惰性氣體由開放式氣柜和閥板(VMP)提供。

超潔凈不銹鋼管、配件和閥門的定義:

用途:不銹鋼清潔管用于半導體行業(yè)輸送高純或超純清潔氣體，生物制藥行業(yè)輸送清潔管(各種水)。表面處理方式：

 RA值的比較(RoughnessAverage,粗糙度平均值)

 材質(zhì)表面處理方式內(nèi)表面粗糙度平均值(um)

 316LAPRA〈=1.0

 316LBARA〈=0.8

 316LEPRA〈=0.13-0.2

純氣體管道技術是高純氣體供應系統(tǒng)的重要組成部分，是保證合格高純氣體能夠輸送到氣點的關鍵技術。所謂高純氣體管道技術，包括系統(tǒng)的正確設計、管件和附件的選擇、施工和安裝、測試和試驗等。近年來，以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量要求越來越高，使得高純氣體的管道技術越來越受到關注和重視。以下是從材料選擇到施工、驗收和日常管理的高純氣體運輸?shù)暮喴攀觥?/div>