電子無(wú)塵室是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，電子無(wú)塵室凈化工程對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。實(shí)驗(yàn)室凈化無(wú)菌試驗(yàn)室-潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物安全實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)方案包括：建筑布局和裝修、空氣調(diào)節(jié)、給排水、氣體供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、集中控制、安防、施工工藝、檢測(cè)、培訓(xùn)等多方面內(nèi)容。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，電子無(wú)塵室有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

電子行業(yè)車間凈化

根據(jù)電子無(wú)塵室的空氣循環(huán)特點(diǎn)，潔凈室可分為高效送風(fēng)循環(huán)空調(diào)、濕密封循環(huán)風(fēng)機(jī)和FFU循環(huán)系統(tǒng)三種類型。

第1種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的無(wú)塵室則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

第2種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵室大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省了運(yùn)行空間，清潔度高，安全性好，運(yùn)行成本低，而且具有較高的運(yùn)行靈活性?？呻S時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)調(diào)整，不影響生產(chǎn)。所有這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造業(yè)的需要。因此，在半導(dǎo)體制造業(yè)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)是一個(gè)接一個(gè)的系統(tǒng)。逐步成為主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

集成電路制造對(duì)電子無(wú)塵室的環(huán)境控制有著嚴(yán)格的要求。不同的工藝要求不同的清潔度，如1級(jí)微環(huán)境中的光刻和1000級(jí)環(huán)境中的化學(xué)機(jī)械研磨。

此外，集成電路制造潔凈廠房具有噪聲、微振動(dòng)、照度等相關(guān)規(guī)定和要求，特別是振動(dòng)控制，因此在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中需要有一定的要求。

良好的電子潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)不僅節(jié)約能源，降低運(yùn)營(yíng)成本，減少人力投入，而且為生產(chǎn)提供安全可靠的保障。在三種清潔系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)具有低運(yùn)行成本和高清潔度安全性。因此，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)經(jīng)常用于集成電路潔凈室。清潔度要求越高，溫度和濕度控制的準(zhǔn)確度越高，潔凈室的投資和運(yùn)行成本就越高。因此，在環(huán)境清潔度大或溫濕度要求較低的情況下，一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備被安排在較高的水平。清潔度或溫濕度控制區(qū)是集成電路制造清潔車間的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。